传感器晶圆 GDF9304 型MEMS热式质量流量芯片2023-08-14Axious阅读(1030)赞(0)GDF9304 型MEMS热式质量流量芯片 简介 GDF9304流量传感芯片是根据热力学原理对流经芯片表面的气体流量进行测量的。所有的焊盘均拉至一侧以便于封装。此外采用低热源电阻，使其可以在低至5V电压下工作，所以芯片功耗低。芯片敏感区域由...
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